爪式泵是为半导体工业发展而研制的,宿州真空泵,它有如下特点:泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转(3000r/min)。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样,功能可以扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有入口处防返流的阀门,出口处有截流阀,
真空灭弧室中的真空度---,一般为10-3~10-6 帕,此时真空间隙的绝缘强度远远高于1 个---压的空气和sf6 的绝缘强度,无油立式真空泵,比变压器油的绝缘强度还要高。正因为真空的绝缘强度---,螺杆真空泵,真空灭弧室中的所有电气间隙都可以做得很小。例如12kv 真空灭弧室的触头开距只有8~12mm,40.5kv 真空灭弧室的触头开距也只要18~25mm,真空灭弧室中的其它电气间隙也在此尺度范围。
而真空中,由于压强较低,气体分子,在这样的环境中,即使电极间隙中存在着电子,它们从一个电极飞向另一个电极时,也很少有机会与气体分子碰撞。因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的穿。正是因为气体分子十分---,真空间隙穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上推测,电场强度需达到108v/cm以上时才会造成穿,实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响,将低于理论计算值几个数量级。
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