真空泵油的抗乳化性，真空泵在运转过程中，系统内的水分与冷气领会排入泵油中， 假如真空泵油的抗乳化性不好，它将与混入的水构成乳化液，使水不易从循环油箱的底部放出，从而可能形成真空度降落和光滑---。因而抗乳化性是工业光滑油的一项很重要的理化性能。---在、食品、陶瓷等工业运用真空枯燥过程中，泵油的抗乳化性能更---。抗乳化性好的泵油油水别离才能强，水蒸汽和冷凝气体经过开启气镇阀，会排出局部水蒸汽。另外，低粘度泵油的抗乳化才能比高粘度泵油要好。

一般认为短间隙下的穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的穿则主要是微粒效应所致。电极材料，真空开关工作在10-2pa以上的高真空，由于此时气体分子十分---，气体分子的碰撞游离对击穿已经不起作用，因此击穿电压表现出和电极材料有较强的相关性。真空间隙的击穿电压随着电极材料的不同而不同，研究者发现击穿电压和材料的硬度与机械强度有关。

泵开始工作不久,出现低压力pg。泵继续运转,由于泵温升高使泵油饱和蒸气压上升、黏度下降，入口压力稍有回升至pg。pg即是泵获得的稳定的低压力，亦是泵的---压力。旋片泵的---压力与测量时使用的真空计种类有关。用压缩式真空计测量时，---压力值比用热传导真空计（热偶计或皮氏计等）测量的结果约低一个数量级。这是因为前者只能测得气体的分压，后者测得的是被压气体的全压。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，